結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

· 單級式減壓結(jié)構(gòu)

· 膜片與母體采用硬密封形式

· 母體接口螺紋：1/4" NPT(F)

· 安全壓力：1.5 倍的最大輸入壓力

· 適用溫度：-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)

· 泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec He

· CV 值：0.14

· 重量：0.9 kg (2.0 lbs)

材質(zhì)

·  母體：316L

·  閥座：PCTFE, PTFE, Vespel®

·  膜片：316L, Hastelloy®

 

適用范圍

·  半導(dǎo)體制程

·  實(shí)驗(yàn)室

· 氣相分析

·  測試儀表

·  石油化學(xué)工業(yè)